【主要内容】 LSIの故障解析を実施する際や、故障解析技術を研究する際に必要な知識・経験は多岐にわたるが、本書の中心は故障解析技術そのものである。新たに出現した、あるいは重要性を増してきた故障解析技術には、微細化、マージナル不良、タイミング不良などに対応したものが多い。LSIチップ裏面からの解析の必要性が増してきたことに対応する従来技術の改良もある。さらに、従来それほど必要とされなかったソフトを使った故障診断やナビゲーションの必要性も増してきた。また、非破壊絞り込みと破壊的物理化学解析を橋渡しするための半破壊解析技術も必須の手法になってきている。本書では、これら最新の技術を解説するとともに、広く用いられている従来からの技術も紹介する。
【主要目次】 第１章 LSIの故障とその特徴 第２章 LSI故障解析技術概論 第３章 故障解析事例 第４章 新しい故障解析関連手法の開発動向