本書が対象とする半導体デバイス（以下デバイス）はシリコン集積回路（LSI）、パワーデバイス、化合物半導体発光デバイス、です。対象となる不具合は不良（製造工程中で不具合になったもの）と故障（使用中か信頼性試験により不具合になったもの）です。
対象読者は、半導体デバイスのプロセス・デバイス技術者、信頼性技術者、故障解析技術者、試験・解析・実験担当者、その他技術者全般、大学・大学院生と幅広い層を想定しています。そのため、基礎から最新情報までと幅広い層を想定しています。そのため、基礎から最新情報までと幅広いレベルの内容を網羅しています。
また、それぞれの分野のある側面を気軽に知ることができるコラムを随所に入れました。さらに、日本科学技術連盟主催の「初級信頼性技術者」資格認定試験に出るような５択問題を第２～４章の末尾に３問ずつ掲載しました。腕試しにご活用下さい。
第１章 半導体デバイスの不良・故障解析技術の概要
第２章 シリコン集積回路（LSI）の故障解析技術
第３章 パワーデバイスの不良・故障解析技術
第４章 化合物半導体発光デバイスの不良・故障解析技術